Süss Microtec

Süss MicroTec ist ein Anbieter von Geräten und Prozesslösungen für den Halbleitermarkt, Nano- und Mikrosystemtechnik und verwandter Märkte mit Hauptsitz in Garching bei München.

Süss Microtec SE
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Rechtsform Aktiengesellschaft
ISIN DE000A1K0235
Gründung 1949
Sitz Garching bei München,
Deutschland Deutschland
Leitung
  • Bernd Schulte[1]
  • Oliver Albrecht[2]
  • Thomas Rohe[3]
Mitarbeiterzahl 1.178[4]
Umsatz 263,4 Mio. Euro (GJ 2021)[4]
Branche Halbleiterindustrie
Website www.suss.com
Stand: 5. April 2022

Die Maschinen, Anlagen und Systeme für die Mikrostrukturierung, wie zum Beispiel fotolithografische Geräte, finden ihren Einsatz bei der Herstellung von Prozessoren, Speicher-Chips, MEMS, LEDs und anderen Mikrosystemtechnik-Bauteilen. Das Unternehmen ist Lieferant für die industrielle Großserienproduktion und für Einrichtungen aus dem Bereich Forschung und Entwicklung.

Unternehmensentwicklung

Im Jahre 1949 gründete Karl Süss die Karl Süss KG und übernahm als Handelsvertreter für Bayern den Vertrieb für optische Geräte (Mikroskope, Kameras und Laborausrüstungen) der Ernst Leitz GmbH. Mit zunehmender technischer Expertise wandelte sich das Unternehmen von einer reinen Vertriebsgesellschaft mit fünf Beschäftigten zum Auftragsfertiger[5].

Der Auftrag von Siemens im Jahre 1963 zur Entwicklung eines einfachen Fotolithografiegerätes bildete den Grundstein für die spätere Ausrichtung des Unternehmens und den ersten Schritt in die Halbleiterbranche. Der erste Auftrag von Siemens umfasste kleine Messtische mit Stereomikroskopen, die miteinander gebondet sind. 1963 entwickelt Süss den Prototyp des ersten Mask-Aligners MJB3 für Siemens.

1968 zog das Unternehmen mit seiner Produktion und inzwischen 30 Mitarbeitern nach Garching.[5]

Süss begann, Diamantritzer und Spin-Coater herzustellen. Der erste Mask-Aligner, der eine doppelseitige Belichtung ermöglichte, wurde 1974 erfunden. Als Experte für Fotolithographie für Unternehmen in Forschung und Entwicklung richtete sich das Unternehmen schwerpunktmäßig an Kunden aus der Fertigungsindustrie. 1975 wurde mit dem MJB55 der erste Mask-Aligner für die Massenproduktionentwickelt.[5]

In den 1980er Jahren begannen die Aktivitäten in Übersee mit einem Werk in Waterbury, Vermont, USA. 1983 wurde eine asiatische Tochtergesellschaft in Thailand gegründet, der weitere Vertriebsbüros in Japan, China und Taiwan folgten. Süss bereitete sich auf die Herstellung von Bondern vor. Daneben unternahm das Unternehmen einen Vorstoß in das sehr spezialisierte Feld der Röntgen-Stepper-Lithographie. In Dresden wurde ein Werk für die Herstellung von Probern eröffnet.

Neben den Justiergeräten wurden auch Systeme für verwandte Prozesse wie Entwicklung, Reinigung und Bonding entwickelt. Mit dem Wafer Bonder ging das Unternehmen im Jahre 1980 in den USA in Waterbury/Vermont serienmäßig in Produktion.[5]

Süss entwickelte 1989 den ersten Substrat-Bonder. In der Mikrosystemtechnologie ließen sich mit Substrat-Bondern heterogene Werkstoffe mit strukturierten Oberflächen verbinden. 1993 nahm das Unternehmen Device-Bonder in das Sortiment auf.

1994 starben der Unternehmensgründer Karl Süss und sein ältester Sohn Ekkehard Süss kurz nacheinander. Dies führte zu einer Reorganisation des Unternehmens. Winfried Süss, Sohn von Karl Süss, vertrat die Familie im Aufsichtsrat. 1999 ging die Holding der Süss-Gruppe als Süss Microtec AG an die Börse.[5]

Entwicklung ab dem Jahr 2000

Durch die Akquisition von Fairchild Technologies betrat das Unternehmen 2000 mit Beschichtungsanlagen die oberen Marktsegmente. Ab 2001 verstärkt das Geschäftsfeld Mikrooptiken der neu gegründeten Suss MicroOptics das lithografische Portfolio von Süss MicroTec. 2002 wurden die Tochtergesellschaften in Suss MicroTec umfirmiert.

2006 wurde die erfolgreiche Gebrauchtanlagensparte in das Unternehmen Süss MicroTec Reman ausgegliedert. 2007 wurde die Produktlinie Device Bonder, zwei Jahre später die Prober-Linie verkauft. Es folgte die Eröffnung von Geschäftsstellen in Singapur und Korea.[5]

Die 2010er Jahre war durch Schwankungen des Marktes für Halbleiter-Anlagentechnik gekennzeichnet. Die Geschäftspolitik leitete eine Konzentration auf Kernkompetenzen und gezielte Zukäufe ein. 2010 erwarb Süss MicroTec mit Hamatech APE einen Anlagenhersteller für die Fotomasken-Prozessierungstechnologie. Im gleichen Jahr wurde die Produktion von Substrat-Bondern aus Waterbury (USA) in das neu erworbene Werk in Sternenfels verlagert. Seither werden Beschichtungsanlagen, Bonder und Fotomasken-Prozessierungsanlagen im selben Werk hergestellt, das sich damit zum Kompetenzzentrum für die Nassverarbeitungstechnologie entwickelt. Mit der Akquisition von Tamarack Scientific 2014 ergänzte das Unternehmen sein lithographisches Portfolio um moderne Laserprozessierungstechnologie für die Übertragung von Mikrostrukturen.[5]

Vertriebs-Niederlassungen der Süss MicroTec bestehen unter anderem in Thailand, Japan, Taiwan, China und Korea.

Tochtergesellschaften

Seit der Gründung des Unternehmens GMA im Jahr 1989, hervorgegangen aus der ehemaligen Elektromat, in Sacka bei Dresden, produziert Süss MicroTec selbst Systeme für das Testen von Mikro-Bauteilen. Im Jahre 1993 erweiterte Süss MicroTec mit der Übernahme der französischen S.E.T. seine Produktpalette um Spin Coater und Device Bonder. Die nächste Akquisition erfolgte im Jahre 1999 mit Convac (veräußert durch das Unternehmen Fairchild Semiconductor). Durch den Aufkauf von Image Technology, USA, ergänzen seit 2001 für lithographische Prozesse eingesetzte Fotomasken das Portfolio der Gruppe. Seit der Gründung der Suss Microoptics in Neuchâtel, Schweiz im Jahre 2002 bietet das Unternehmen auch optische Mikrolinsen an.

Im Jahre 2007 verkaufte Süss MicroTec die Produktsparte Device-Bonder. Mit der Übernahme der Hamatech APE zu Beginn des Jahres 2010[6] und dem Verkauf der Sparte Testsysteme baute die Süss-Gruppe zum einen ihre Kernkompetenz im Bereich Nassprozesse weiter aus und setzt zum anderen einen klaren Fokus auf die Mikrostrukturierung von Bauteilen.

Im Jahr 2012 kaufte Süss MicroTec das Unternehmen Tamarack Scientific Co. Inc. Tamarack entwickelt, produziert und vertreibt UV-Projektionsbelichtungsgeräte sowie laserbasierte Mikrostrukturierungssysteme.

Forschung- und Entwicklung

Bereits der Unternehmensgründer pflegte einen engen Austausch mit der Wissenschaft. Süss MicroTec baut laufend die Anstrengungen im Bereich Forschung und Entwicklung aus zur Steigerung der Innovationsgeschwindigkeit. Neben starken Entwicklungsaktivitäten und einer regen Zusammenarbeit mit führenden Forschungseinrichtungen und Universitäten werden alle Prozesse auf höchstmögliche Entwicklungsgeschwindigkeit und -effizienz, zur Verbesserung der Wertschöpfung der Anwender, ausgerichtet.

Süss MicroTec arbeitet mit den verschiedenen Forschungsorganisationen weltweit an technologischer Entwicklung.[7]

Anwendungen

Wichtige Endanwendungen für Sensoren und mikroelektromechanische Systeme (MEMS) sind Konsumelektronik (Unterhaltungselektronik, Hausgeräte, Mobiltelefone, Fotoapparate etc.), Maschinen- und Anlagenbau, Steuerungs-, Mess- und Regeltechnik, Processorhersteller, Labortechnik, Medizintechnik, Automotive, Luft- und Raumfahrt sowie Sicherheitsanwendungen. Zum direkten Kundenkreis zählen bei MEMS zu 55 % OSATs (Outsourced-Assembly-and-Test-Unternehmen) und zu 45 % IDMs (Integrated-Device-Manufacturer) als wichtige Akteure der Halbleiterindustrie[8].

Auszeichnungen

2008 wurde das Unternehmen mit dem Georg-Waeber-Innovationspreis der Fraunhofer-Gesellschaft für seine Forschungsarbeit im Bereich UV-Nanoimprint Lithography ausgezeichnet. In Zusammenarbeit mit dem Fraunhofer-Institut IISB (Integrierte Systeme und Bauelement-Technologie) hat Süss MicroTec Geräte entwickelt, die neuartige Replikationstechnologien im Mikro- und Nanobereich unterstützen.

Einzelnachweise
  1. SÜSS MicroTec SE: Dr. Götz M. Bendele nimmt Auszeit bis zum 31.12.2022 von seinem Mandat als Vorstandsvorsitzender der SÜSS MicroTec SE / Dr. Bernd Schulte übernimmt währenddessen die Vorstandsposition. SÜSS MicroTec SE, Garching, 14. Oktober 2022, abgerufen am 17. Oktober 2022.
  2. Vorstandswechsel bei der SÜSS MicroTec SE. In: www.suss.com. Abgerufen am 18. November 2019.
  3. SÜSS MicroTec SE ernennt Dr. Götz Bendele zum Vorsitzenden des Vorstands und Dr. Thomas Rohe zum Vorstand für das operative Geschäft. In: www.suss.com. Abgerufen am 1. Mai 2020.
  4. Süss Microtec - Geschäftsbericht 2021 (PDF; 8,6 MB), abgerufen am 5. April 2022
  5. Süss MicroTec: Unternehmensgeschichte. Süss MicroTec, 16. Dezember 2017, abgerufen am 16. Mai 2018.
  6. Süss Microtec übernimmt Hamatech. In: muehlacker-tagblatt.de. 18. Mai 2010, abgerufen am 24. Februar 2017.
  7. Süss MicroTec: Forschung & Entwicklung. In: https://www.suss.com/de/unternehmen/forschung-entwicklung. Süss MicroTec, 15. Mai 2018, abgerufen am 15. Mai 2018.
  8. Süss Microtec - Geschäftsbericht 2017
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