Fotoresis

Fotoresis merupakan salah satu bahan yang dapat bereaksi jika terkena cahaya. Bahan ini jika dikenai cahaya akan menjadi larut (Positive Fotoresis) atau justru akan menjadi tidak larut atau mengeras (Negative Fotoresis). Biasanya, Fotoresis sendiri digunakan dalam proses fotolitografi dan merupakan bagian dari proses di pembuatan microsystem.

SEM image of a photoresist layer used in semiconductor manufacturing taken on a field electron emission SEM. These SEMs are important in the semiconductor industry for their high-resolution capabilities.

Beberapa jenis fotoresis yang ada pada saat ini memiliki kepekaan terhadap beberapa sinar, terutama sinar ultraviolet, laser, pancaran elektron, ion, dan sinar-X.